聚合物熱光光開關(guān)電極研究.pdf

1、本文的主要工作圍繞聚合物熱光光開關(guān)的重要組成部分——熱電極展開，設(shè)計優(yōu)化了具有矩形電極結(jié)構(gòu)的熱光光開關(guān)，提出了弧形電極的概念，并與矩形電極進(jìn)行了比較，研究了制作工藝誤差對開關(guān)性能的影響。具體包括以下內(nèi)容：首先，簡單討論了熱光效應(yīng)和Y分支型熱光光開關(guān)的工作原理，并簡單介紹了熱電極設(shè)計的基礎(chǔ)——熱傳導(dǎo)理論。其次，介紹了幾種常用的熱光系數(shù)測量方法，詳細(xì)敘述了利用棱鏡耦合儀測量聚合物熱光系數(shù)的過程，并精確測量了聚合物材料的熱光系數(shù)，為光開關(guān)

2、熱電極的設(shè)計打下了基礎(chǔ)。接著，確定了光開關(guān)熱電極和引線的材料，并根據(jù)開關(guān)時間、金屬電極產(chǎn)生的損耗以及波導(dǎo)－光纖之間的耦合效率與光開關(guān)結(jié)構(gòu)上覆蓋層的厚度之間的關(guān)系，確定了上覆蓋層的厚度。最后，對具有矩形電極的光開關(guān)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計，提出了弧形電極的概念，并與矩形電極進(jìn)行了比較。跟據(jù)金屬薄膜電阻率理論，計算出了電極的厚度。研究了電極寬度誤差、掩模套刻誤差、電極厚度誤差等工藝誤差對開關(guān)性能的影響以及光開關(guān)的波長響應(yīng)特性。由于熱電極結(jié)構(gòu)