基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的CNC自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)的研究與設(shè)計(jì).pdf

1、圖像處理技術(shù)現(xiàn)今已被廣泛應(yīng)用于IC半導(dǎo)體制程質(zhì)量的檢測。自動(dòng)檢測系統(tǒng)(Automatic Optic Inspection，AOI)可以通過CCD(Charge Couple Device)快速將待測物的信號(hào)切換成計(jì)算機(jī)所能接受的數(shù)碼信號(hào)進(jìn)行處理。由于圖像處理技術(shù)的進(jìn)步及計(jì)算機(jī)執(zhí)行速度的提高，圖像處理在超薄型表面設(shè)備檢測的應(yīng)用將越來越廣泛。本文結(jié)果用于半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的導(dǎo)線架的良率檢測，研究目的在于配合AOI自動(dòng)檢測設(shè)備以及視覺檢測軟件來

2、對(duì)導(dǎo)線架作檢測，通過檢測結(jié)果可以將有瑕疵的導(dǎo)線架排除，以提高導(dǎo)線架的良率。
　　本文的研究內(nèi)容如下：
　　（一）本文利用機(jī)械結(jié)構(gòu)系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)以及視覺檢測系統(tǒng)來組成自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備，本文介紹精密測量設(shè)備特性和制作過程，利用此設(shè)備可以對(duì)實(shí)際工件做檢測，比如工件的尺寸測量、文字識(shí)別及薄膜厚度檢測。本文根據(jù)待測物的大小設(shè)計(jì)鏡頭，利用適當(dāng)?shù)墓庠凑丈浯郎y物，以便視覺系統(tǒng)取得適當(dāng)圖像；該系統(tǒng)具有良好的圖像處理效果，可降低圖像處理的復(fù)

3、雜程度。
　?。ǘ┍疚慕Y(jié)合自適應(yīng)BP算法對(duì)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的權(quán)值和閾值進(jìn)行優(yōu)化和修改。首先邊緣偵測，這是圖像切割的初步工作，利用計(jì)算機(jī)偵測導(dǎo)線架與背景顏色的明亮變化，判斷出物體的邊緣并加以記錄；其次利用適應(yīng)BP算法來提高文字識(shí)別的正確率訓(xùn)練出最佳手寫字符的最佳特征值以提高字型的識(shí)別率；最后通過輸入噪聲讓其識(shí)別出正確的字母，達(dá)到文字識(shí)別的目的。
　?。ㄈ┍疚奶接懥嘶谧赃m應(yīng)BP算法的精密檢測設(shè)備的研制與應(yīng)用，采用C語言與Matla