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1、透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜因在可見(jiàn)光區(qū)的高透過(guò)率及優(yōu)異的電學(xué)性能,被廣泛應(yīng)用于有機(jī)發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池、微電子器件等多個(gè)領(lǐng)域。目前研究最廣泛、最具發(fā)展前景的一類(lèi)是以氧化鋅(ZnO)為基體進(jìn)行摻雜的TCO薄膜。用Mo摻雜的ZnO(MZO)薄膜更是當(dāng)前的研究熱點(diǎn)問(wèn)題之一。
本文采用的是磁控濺射法,使用射頻靶與直流靶共濺射的方法成功的制備了MZO薄膜,并研究了不同的工藝參數(shù),如襯底溫度、ZnO靶功率、濺射時(shí)間等,對(duì)MZO薄膜的結(jié)
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