基于體硅加工技術的安培型微電極生物傳感器研究.pdf

1、摘要摘要本文提出了一種新型的硅基襯底體硅加二[_安培型微電極生物傳感器。計了傳感器，并利用各向異性硅腐蝕技術制備了該傳感器。硅片、金及作者設SU一8分別用作制作襯底、電極及微反應池。鉑化并聚合毗咯第一次被用作表面修飾。該傳感器的設計目標是:低的單片成本、微型化及與工C工藝的兼容。SU8微反應池用來盛裝反應溶液以降低反應液用量及單片成本。體硅微加I鉑化并聚合毗咯用來增強傳感器的靈敏度，以達到微型化的目的。使用硅片作為襯底使得與TC工藝的兼

2、容成為可能。為尋找最佳的電極表面修飾方法及酶固定化方法，設計并實驗了幾種不同的電極表面修飾方法及酶固定化方一法。設訓并制作了用于循環(huán)伏安法的掃描電壓模塊。該掃描電壓模塊能完全滿足實驗需要。該微電極傳感器己成功應用于葡萄搪檢測。與傳統(tǒng)的安培型傳感器及表面加_I_技術制作的安培型微電極傳感器相比，該傳感器有敏感面積較小、檢測下限較低、檢測范圍較寬、靈敏度較高、重現(xiàn)性較好、易于制作陣列、易于與處理電路集成等優(yōu)點。從原理卜分析了安培型微電極免疫

3、傳感器的可行性、優(yōu)越性以及研究中需要重點解決的問題。關鍵字:生物傳感器，安培型，微電極，微反應池，體硅微加工獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學位論文是本人在導師指導下進行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加以標注和致謝的地方外，論文中不包含其他人己經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得中國科學院電子學研究所或其他教育機構的學位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。

4、學位論文作者簽名:簽字日期沸‘月夕日學位論文版權使用授權書本學位論文作者完全了解中國科學院電子學研究所有關保留、使用學位論文的規(guī)定，有權保留并向國家有關部門或機構送交論文的復印件和磁盤，允許論文被查閱和借閱。本人授權中國科學院電子學研究所可以將學位論文的全部或部分內容編入有關數(shù)據(jù)庫進行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復制手段保存、匯編學位論文。(保密的學位論文在解密后適用本授權書)介文作者簽一衫葉簽字:期砰‘月了日導師簽名:厭善介簽字日