強激光對砷化鎵材料損傷機理的研究.pdf

1、山東大學碩士學位論文強激光對砷化鎵材料損傷機理的研究姓名：李永富申請學位級別：碩士專業(yè)：光學工程指導教師：王青圃20070410山東大學碩士學位論文中文摘要激光與物質相互作用一直是令人關注的研究領域。近幾十年來，激光技術迅猛發(fā)展，現(xiàn)在已經(jīng)滲透進自然科學的各個領域，加快了科學研究的步伐。而在科學研究過程中發(fā)現(xiàn)的各種新現(xiàn)象新內容，又極大地促進了激光技術的發(fā)展。激光與物質的相互作用不僅在自然科學領域受到人們的關注，而且在實際中也得到了廣泛應用

2、，如激光加工、激光核聚變、激光薄膜沉積以及激光武器等等。砷化鎵材料在很多方面都有著優(yōu)越的特性，如：直接躍遷型能帶，有較高的光電轉換效率；電子遷移率高，能夠制成高速器件；帶隙較大，GaAs器件抗輻射能力強；具有轉移電子效應，能夠制成耿氏器件等新型功能器件等等，這些都使砷化鎵材料得到了廣泛的應用，砷化鎵成為硅之后最重要的半導體材料。因此，需要對砷化鎵進行深入的研究，而激光對砷化鎵材料損傷的研究是其中的一個重要方面。本文利用常見的532nm連

3、續(xù)激光、1064rim脈沖激光對砷化鎵材料進行作用，利用比較新穎的光的衍射和干涉方式對材料的損傷過程進行探測，測得材料在連續(xù)激光和脈沖激光下的損傷閩值，通過利用電子探針對材料表面損傷形貌的觀察和組分分析，定性地討論了砷化鎵的損傷形式。在實驗的基礎上，利用很常見的熱傳導方程對損傷閾值進行了解析計算。最后，對飛秒超短脈沖激光作用下，砷化鎵材料的損傷機理、損傷形態(tài)以及相應的理論解釋進行了簡要地介紹。具體內容以及創(chuàng)新點如下：1首次提出利用夫瑯和