FIA-MEMS系統(tǒng)的設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、FIA(FlowInjectionAnalysis,流動注入分析)系統(tǒng)集成了微型傳感器、微型泵和相應(yīng)的處理電路,是一種易于操作、可實現(xiàn)自動控制的分析儀器.該文將從FIA系統(tǒng)工作原理、pH-ISFET傳感器、微型泵和測量電路四個方面給出了一處較為完整的關(guān)于FIA系統(tǒng)的論述.該文討論了pH-ISFET器件的特性,并給出其I-V方程,由該方程的分析,選擇差動設(shè)計方案,制備了帶微流通池的長臂式pH-ISFET/REFET集成傳感順.該文對擴(kuò)散管

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