微機械氣流式全方位水平姿態(tài)傳感器的研究.pdf

1、微機械氣流式全方化水平姿態(tài)傳感器是將微機械技術和“氣體擺”理論融合在一起，它不僅解決了現有的全方位氣流式水平姿態(tài)傳感器體積過大、一致性差、不能大批量生產的問題，同時還能使微機械水平姿態(tài)傳感器敏感水平面內任一方位的傾斜角度。
　　 本文首先針對微機械氣流式全方位傾角敏感元件的結構進行了有限元計算，利用ANSYS-FLOTRAN CFD軟件，建立了全方位敏感元件的三維有限元模型。采用有限元方法，分別計算了在不同傾斜狀態(tài)、不同環(huán)境溫度

2、和不同的檢測熱敏電阻排列方式下敏感元件內的溫度場和流場，進而揭示了該傳感器的敏感機理，以及環(huán)境溫度和檢測熱敏電阻的排列方式對傳感器靈敏度的影響機理。
　　 隨后，對傳感器的信號處理電路進行了設計。該信號處理電路主要包括目前置信號處理電路和數字補償電路兩部分。其中，前置信號處理電路包括對原始信號的測量、放大和濾波：數字電路設計部分，引入單片機，采用數字補償方式。
　　 最后，通過單片機對傳感器進行了全方位傾角信號的合成及相