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文檔簡介
1、本論文所研究的課題來源于國家自然科學基金，重大國際合作項目“納米測控環(huán)境控制機理和關鍵技術研究”。 環(huán)境保障一直是測控領域中急待解決的問題，在高精度的納米測控中環(huán)境保障更成為影響測控結果的關鍵因素。高精度的納米測量是建立在對環(huán)境的嚴格控制的基礎上的，真正需要高精密測量環(huán)境的只是測量儀器本身，所以研究小型的超高精密的恒溫恒濕潔凈抗振的納米測量環(huán)境具有重要的意義。 由于測量儀器在測試腔內工作時會產生熱量，造成溫度的不均勻，從
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