靜電感應(yīng)晶閘管的研制.pdf

1、靜電感應(yīng)晶閘管SITH(static Induction Thyristor)是一種新型功率器件，與其它電力器件相比有一系列突出的優(yōu)點：首先是用柵極可強迫關(guān)斷，同時具有高耐壓、大電流、低壓降、低功耗、高速度、優(yōu)良的動態(tài)性能等。應(yīng)用前景十分廣闊，因而受到人們的廣泛關(guān)注。本文結(jié)合蘭州市十五科技攻關(guān)項目--電力靜電感應(yīng)器件的研制而展開。主要內(nèi)容如下： 1.闡述了SITH的作用理論，介紹了SITH的結(jié)構(gòu)、Ⅰ-Ⅴ特性、電流傳輸機制及勢壘的

2、形成。對于SITH的負(fù)阻轉(zhuǎn)折特性進(jìn)行了研究，分析了導(dǎo)致負(fù)阻現(xiàn)象產(chǎn)生的主要物理效應(yīng)。 2.分步刻槽法的應(yīng)用，實現(xiàn)了隔斷槽、臺面槽與柵電極孔刻蝕，深度各不相同卻能同時刻蝕，且深槽刻蝕逐步加深，不必一次刻蝕到要求的深度，更有利于保護(hù)管芯表面和槽臺造型。通過實驗選擇腐蝕液的配比，并確定了最佳的刻蝕深度和工藝。 3.制定了SITH的工藝流程，數(shù)次的制管實驗結(jié)果，給出了正常特性所滿足的工藝條件。該結(jié)果距離理想的Ⅰ-Ⅴ特性僅需要微調(diào)。