靜電感應器件的研制.pdf

1、靜電感應器件(Static Induction Device-SID)是一類新型的電力電子器件，主要包括雙極型靜電感應晶體管(BSlT)、靜電感應晶體管(SIT)和靜電感應晶閘管(SITH)三類器件，具有其它半導體器件無法比擬的一系列優(yōu)點，如控制功率大、工作頻率高、電流容量大、耐高壓、功耗小、噪聲低、抗輻射能力強、開通關斷全可控等，在很多領域得到了廣泛的應用。本論文的研究工作是結合蘭州市科技攻關項目“電力靜電感應器件的研制”而展開的。

2、 系統(tǒng)地闡述了SIT、SITH的作用理論、結構、I-V特性、電流傳輸機制及溝道勢壘的形成及關鍵制造工藝。在此基礎上，結合器件制造的特點，對器件的相關制造參數(shù)進行了討論分析，根據(jù)以前的實驗數(shù)據(jù)和經(jīng)驗，設計了新的版圖。 實驗以制備電性能優(yōu)良的SID為出發(fā)點，結合SITH制作的經(jīng)驗和存在的問題，通過大量的實驗，對部分工藝條件進行了調整。 為了獲得具有高的Vgs/Vgk和良好的I-V特性的器件，我們做了大量的實驗。通過對試