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1、同濟(jì)大學(xué)士學(xué)位論文射頻磁控反應(yīng)濺射TiNxOy薄膜太陽光學(xué)特性的研究姓名:江建申請學(xué)位級別:士專業(yè):@指導(dǎo)教師:錢振型19860505第頁QBSTRACTIiN’‘0yfilmsaredepositedbyRFP1anQurma9netronreactivenon—biassputteringintheargon/nitrogenatom5phere1hethicknessofthefilm暑aremeasuredbyo‘一stepst
2、ylUSthemicrostructureandcompostionofthefilmsaredeterminedbxmeansofXraydifractionandAugerelectron譬pecto暑copyThespecularref1ectanceandtransmitranceofthesamp1asaremeasuredoverawavelenathrangeextentingfrom03umto25umwith5himA
3、oIzUV3b5暑pectrophotometerTheTiNxOyfi1mshowsobviouslytheevidenceofspectralselectivitywiththeP1asmawavelengthat0—8umTheP1asmawavelengthwil1beshiftedtoward10ngerwavelengthwhenthepartialpressureofnitrogeni暑increasedatthesput
4、teringprocessbutiti譬hardlyaffectedwhenthefi1mthicknessi暑‘changedfrom005Sumto01umanditi葛fairlYstableaf’terheattreatmentfor5hoursat3200Cinvacuum1heopticalconstant暑ofthefi1marecalculated,andthedispersivecurveshavebeendepict
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