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文檔簡介
1、在工業(yè)應(yīng)用中通過表面涂層技術(shù)來提高切割工具、軸承、模具等的壽命是非常重要的,因此低摩擦系數(shù)、高硬度及耐腐蝕和抗氧化的涂層材料一直受到人們的重視。金屬碳化物和氮化物是常用的硬質(zhì)涂層材料。過渡金屬氮化物特別是TiN,常被用來做工模具的防護(hù)涂層。但是單層薄膜的性能無法滿足應(yīng)用上越來越苛刻的要求,這種情況下,具有更高硬度、耐腐蝕性及抗氧化性的雙層和多層復(fù)合涂層技術(shù)開始廣泛應(yīng)用。
本文采用直流反應(yīng)磁控濺射法在P型Si(111)基底上
2、制備了單層TiN薄膜、單層AlN薄膜和TiN／AlN雙層薄膜。
本文第一部分研究了濺射氣壓、濺射電流、基底溫度等工藝參數(shù)對單層TiN薄膜的影響。實(shí)驗(yàn)證明,濺射電流為0.45A、基底溫度為480℃、濺射氣壓為0.6Pa時得到的TiN薄膜性能最優(yōu):結(jié)晶性最好、表面平整、粗糙度較小。
本文第二部分研究了濺射氣壓對AlN薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響,結(jié)果表明:在Ar／N2流量比為1:3、保持基底溫度為480℃、濺射電流為0.
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