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文檔簡介
1、隨著MEMS技術的飛速發(fā)展,微懸浮轉(zhuǎn)子式陀螺逐漸成為研究的熱點和關注的焦點。不同于傳統(tǒng)振動式陀螺,懸浮轉(zhuǎn)子式具有高精度、高靈敏度等優(yōu)點,而且排除了振動式微陀螺所固有的正交耦合誤差等缺點,成為具有良好發(fā)展前景的一種MEMS器件,已在美、日、英等國得到了一定的研究成果,顯示出相當?shù)陌l(fā)展?jié)摿Α?本文對靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的相關技術進行了分析和研究,并對信號的處理進行了分析和設計,結(jié)合機構(gòu)模型,進行了動態(tài)仿真。 全文的主要研究內(nèi)容
2、和結(jié)論如下: 對靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的工作原理進行了闡述,對懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的動力學和一般運動特性進行了分析,對微陀螺結(jié)構(gòu)進行了分析。對電容檢測原理進行了說明,結(jié)合電容檢測在微陀螺中的應用,設計了等效控制模型,并就其中的一些關鍵技術進行了分析。同時提出了控制和檢測的思路和方法。 設計了靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺DDS信號發(fā)生電路,為后續(xù)控制電路提供良好的信號源,確保了系統(tǒng)正常工作。信號源可根據(jù)實際需要,通過調(diào)整參數(shù),得到不同的輸出量
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