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文檔簡(jiǎn)介
1、靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺是一種由扁平轉(zhuǎn)子和定子電極(包括懸浮、旋轉(zhuǎn)和檢測(cè)等電極)構(gòu)成的MEMS器件。它采用高精度靜電陀螺球形轉(zhuǎn)子的支承方式和經(jīng)典陀螺儀盤形轉(zhuǎn)子的工作方式,具有比振動(dòng)式微陀螺精度高的潛在優(yōu)點(diǎn),具有廣闊的應(yīng)用前景。
基于LabVIEW和虛擬儀器技術(shù)的硬件在環(huán)仿真技術(shù)目前在各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。本課題主要是研究基于LabVIEW的在環(huán)仿真技術(shù)在靜電懸浮微陀螺測(cè)控系統(tǒng)上的應(yīng)用。本文的主要內(nèi)容和結(jié)論包括:
介紹
2、了靜電懸浮微陀螺的研究概況、應(yīng)用前景、檢測(cè)控制方法,并對(duì)靜電懸浮微陀螺的結(jié)構(gòu),加工材料,工作原理和加工工藝流程進(jìn)行了說明。
通過一個(gè)相敏解調(diào)的例子說明了LabVIEW在懸浮微陀螺仿真控制中的應(yīng)用,實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論相符合,證明了LabVIEW仿真技術(shù)在微陀螺仿真中應(yīng)用的可行性。
講述了靜電懸浮微陀螺的系統(tǒng)模型和控制方法,利用LabVIEW采用集中控制策略對(duì)陀螺軸向的三個(gè)自由度進(jìn)行了仿真控制,驗(yàn)證了集中控制策略的可行性。<
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