非球面光學(xué)元件檢測方法的研究.pdf

1、隨著非球面光學(xué)元件的設(shè)計和加工技術(shù)的發(fā)展，對非球面光學(xué)元件的面形及其參數(shù)的檢測提出了更高的要求。在已有高精度檢測儀器的條件下，一方面要研究適合具體工件類型的新的檢測方法，擴展儀器的檢測范圍以充分發(fā)揮檢測儀器的功能；另一方面要盡可能分析并降低檢測儀器的誤差，以提高檢測的精度?！　Ψ墙佑|式檢測，本文在介紹用干涉儀檢測非球面的基本原理的基礎(chǔ)上，歸納了干涉法檢測非球面的幾種方法以及常用補償器的類型，以單透鏡補償器為例詳細(xì)闡述了補償器的設(shè)計和

2、精度分析，同時還指出部分補償透鏡的思想可以簡化補償器的設(shè)計?！　佑|式檢測，本文以檢測口徑小于120mm的TalysurfPGI輪廓儀為基礎(chǔ)，詳細(xì)分析了輪廓儀在檢測中的誤差因素，推導(dǎo)出了輪廓儀檢測二次旋轉(zhuǎn)軸對稱非球面時，各項誤差對測量面形影響的傳遞系數(shù)方程，得出測量坐標(biāo)系與工件坐標(biāo)系間的不重合誤差對測量面形誤差的影響隨被測口徑、頂點曲率的絕對值以及坐標(biāo)系間的定位誤差和方向誤差的增大而增大的結(jié)論。　　用自己編寫的Matlab程序模擬