一種基于體硅微機(jī)械工藝的微機(jī)械光開(kāi)關(guān)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、該論文在比較各種類(lèi)型光開(kāi)關(guān)的特點(diǎn)的基礎(chǔ)上,結(jié)合現(xiàn)有的工藝條件,完成了一種使用常規(guī)體硅微機(jī)械加工工藝實(shí)現(xiàn)的光開(kāi)關(guān)的設(shè)計(jì)和制作.并初步完成了光纖的耦合封裝工作.該論文使用傳統(tǒng)的KOH腐蝕液,利用硅材料的各向異性的特點(diǎn),加工出了垂直于襯底表面的微鏡結(jié)構(gòu),利用這種微鏡結(jié)構(gòu)可以完成光線的切換,實(shí)現(xiàn)光路的開(kāi)關(guān)功能.該論文在闡述了常用的微機(jī)械加工工藝的基礎(chǔ)上,重點(diǎn)介紹了這種微機(jī)械光開(kāi)關(guān)的制作過(guò)程.同時(shí)對(duì)工藝中出現(xiàn)的問(wèn)題就其原因進(jìn)行了分析,給出了改進(jìn)的

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