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1、論文首先對(duì)微光機(jī)電系統(tǒng)(Micro Opto Electro Mechanical Systems)的研究歷史和發(fā)展現(xiàn)狀作了簡(jiǎn)單的綜述,介紹了角速度傳感器--陀螺的發(fā)展歷史以及主要產(chǎn)品、種類(lèi),并對(duì)微機(jī)械陀螺儀領(lǐng)域的重要研究成果進(jìn)行了簡(jiǎn)單的回顧總結(jié).其次,討論了在該課題研究實(shí)踐中涉及到的主要微機(jī)械加工技術(shù),包括KOH對(duì)硅的腐蝕技術(shù)、硅-玻璃靜電鍵合技術(shù)以及DRIE(深反應(yīng)離子刻蝕)技術(shù),總結(jié)了通過(guò)反復(fù)實(shí)驗(yàn)獲得的一些解決問(wèn)題的經(jīng)驗(yàn)、方法.而
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