干涉法球面面形絕對檢測技術(shù)研究.pdf

1、隨著光學(xué)行業(yè)以及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展，光學(xué)表面面形的檢測精度需求也越來越高。球面絕對檢測方法可以去除參考面面形誤差的影響，從而提高了被檢面的檢測精度。
　　 本文以三位置球面面形絕對檢測原理為中心，討論分析了與其相關(guān)的檢測方法，包括兩位置球面面形檢測和五位置球面面形絕對檢測?；赯ygo數(shù)字波面干涉儀，設(shè)計(jì)了針對三位置球面面形檢測方法的高精度旋轉(zhuǎn)控制的6自由度實(shí)驗(yàn)機(jī)構(gòu)，并分析了機(jī)構(gòu)的在各位置的調(diào)整誤差，從而進(jìn)一步對實(shí)驗(yàn)方法與操作步

2、驟提出了細(xì)致的要求。
　　 設(shè)計(jì)并且分析了與三位置球面面形絕對檢測方法相關(guān)的幾個(gè)實(shí)驗(yàn)：(1)三位置球面面形絕對檢測重復(fù)性實(shí)驗(yàn)；(2)三位置球面面形絕對檢測與兩位置球面面形檢測的檢測精度對比實(shí)驗(yàn)；(3)三位置球面面形絕對檢測檢測精度實(shí)驗(yàn)；(4)五位置球面面形絕對檢測檢測精度實(shí)驗(yàn)。在實(shí)驗(yàn)分析中，著重討論了三位置檢測貓眼位置的參考鏡Zernike2θ項(xiàng)誤差。
　　 對于高精度的面形檢測，誤差是影響最終測試結(jié)果的重要因素。因此本