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文檔簡介
1、本文提出了一種在硅杯表面采用濃硼擴散區(qū)與鍍金屬膜形成的歐姆接觸電極作為內引線的硅基電感的新制造方法。我們設計了硅基電感的版圖尺寸和相關的工藝流程,用IntelliSuite軟件模擬驗證了工藝流程的可能性,再利用Ansys有限元軟件中的電磁分析模塊模擬了電流與磁感應強度的關系、襯底渦流分布等,為平面電感的理論與實驗的進一步比較分析提供了參考依據(jù)。在研制過程中我們發(fā)現(xiàn)影響電感性能好壞的主要因素是襯底渦流效應,為此本文提出了在矩形硅杯膜上制作
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