三級(jí)差分抽氣分子束質(zhì)譜裝置的研制及氮、氫等離子體的分子束質(zhì)譜診斷.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該論文首先詳細(xì)地描述了分子束質(zhì)譜的設(shè)計(jì)思想及相關(guān)的運(yùn)行參數(shù),然后如何將國產(chǎn)四極質(zhì)譜離子源改造成具有閾值電離功能的離化器,最后報(bào)道了用該裝置對(duì)氮、氫等離子體的實(shí)驗(yàn)診斷及初步的氮等離子體中物種濃度的模擬計(jì)算結(jié)果,主要工作成果有以下幾方面:一、建立了國內(nèi)首臺(tái)用于較高氣壓活性物種診斷的分子束質(zhì)譜裝置.二、研制成功了國內(nèi)第一套具有閾值電離能力的四極質(zhì)譜離化器.三、對(duì)氫異常輝光放電阻極鞘層區(qū)中H<,n'+>(n=1-3)進(jìn)行了診斷研究.四、在采用多

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