2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、微機電系統(tǒng)是集微型機械、微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理、智能控制于一體綜合型系統(tǒng),在國防、通信、汽車、生命科學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛的運用。近年來,隨著微機電系統(tǒng)技術(shù)的迅速發(fā)展,對器件運動性能檢測的需求也日益迫切。 本文主要探討了基于激光差動多普勒原理的微機電系統(tǒng)的運動檢測技術(shù),研究測量微型振子等微機電器件的瞬時速度、位移、加速度等運動參數(shù)的方法。論文在前期的探索上,對原測量系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)、特別是信號處理模塊和硬件設(shè)計進行了改進和優(yōu)化。

2、 改進了原系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了符合測量要求的微小光斑,降低了光斑內(nèi)的速度梯度。采用了時頻分析的方法,優(yōu)化了軟件處理模塊,提高了系統(tǒng)的測量精度。設(shè)計了信號的采集處理電路,替代數(shù)據(jù)采集卡進行采集和處理,降低了系統(tǒng)的成本,并為將來系統(tǒng)的便攜化、高效測量研究進行了先期探索,提供一定的研究基礎(chǔ)。 在對諧振器進行運動檢測的基礎(chǔ)上,論文還對器件的振型進行了初步的分析,獲得諧振器的固有振型。 通過對一系列微機電系統(tǒng)諧振器樣品、

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