用于SEM納米操作的粘滑型精密定位工作臺的研究.pdf

1、基于SEM的納米級操作機器人是指以SEM為本體并將納米尺度物體作為操作對象的精密操作系統(tǒng)。由于SEM具有腔室空間大、實時圖像反饋等特點，基于SEM的納操作機器人近年來獲得了廣泛的研究，并逐漸成為人類探索微觀世界的重要工具之一。精密定位工作臺作為納操作機器人手臂，其工作性能直接決定了納操作機器人的最終操作質(zhì)量。因此，為了提升納操作機器人的操作效率和操作質(zhì)量，本文研制了一套基于SEM納米操作的三自由度精密定位系統(tǒng)。
　　根據(jù)SEM中特

2、殊的操作環(huán)境要求和納操作任務(wù)對精密定位裝置的性能要求，本文設(shè)計了一套基于粘滑驅(qū)動原理的三自由度精密定位工作臺。采用模塊化的設(shè)計方法，三自由度精密定位臺由兩個水平定位臺和一個豎直定位臺組成。每個定位臺由堆疊型壓電陶瓷驅(qū)動。為提高定位臺的可靠性、縮小定位臺體積，定位臺的結(jié)構(gòu)引入了柔性鉸鏈機構(gòu)。該三自由度精密定位工作臺體積小、重量輕、可靠性高，具有納米級定位分辨率和毫米級行程。
　　為了更好地分析各參數(shù)對粘滑型精密定位工作臺工作性能的影

3、響并為定位臺結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計提供參考依據(jù)，本文通過選擇合理的壓電陶瓷模型和摩擦力模型，建立了精密定位臺的動力學模型。壓電陶瓷模型由理想壓電陶瓷、彈簧和阻尼器組成，摩擦力選用LuGre動態(tài)摩擦模型來描述。通過MATLAB/Simulink仿真計算，所建立的動力學模型可以準確有效地反映定位臺實際的運動狀態(tài)。
　　針對壓電陶瓷驅(qū)動的要求，對驅(qū)動系統(tǒng)進行了研究。本文設(shè)計了壓電陶瓷驅(qū)動器，并對驅(qū)動電路中的功率運放單元進行了功率損耗及散熱計算，保