微梁機電耦合動力學.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、燕山大學碩士學位論文微梁機電耦合動力學姓名：賈曉麗申請學位級別：碩士專業(yè)：機械設計及理論指導教師：許立忠聞巖20070101燕山大學工學碩士學位論文AbstractDynamiccharacteristicsaffectthedesignandworkingperformanceoftheelectromechanicalcoupledmicrosystemdirectlynemicrobeamisatypicalMEMSstructu

2、reInthispaperthedynamicsofallelectromechanicalcoupledmicrobeamisinvestigatedAneleetromechanicalcoupleddynamicmodelofthesinglemicrobeamsubjectedtoelectricalfieldforceispresentednestaticdisplacementthevibrationmodefunction

3、andthenaturalfrequencyofthemicrobeamunderelectricalfieldforceareanalyzedTheforcedvibrationoftheeleetromechanicalcoupledmicrobeamunderharmonicexcitationisinvestigatedbYthemodesuperpositionmethodTheinfluenceofsystematicpar

4、ametersonresonanceisstudiedWhennonlinearityofelectricalfieldforceisconsiderednonlinearfreevibration，forcedvibrationneartonaturalfrequencyandfarfromthemarediscussedbyperturbationmethodFortheforcedvibrationneartonatllralfr

5、equencytherangefrequencypropertyanditsinfluencefactorsarestudiedTheinfluenceofsystematicparametersonforcedvibrationfarformnaturalfrequencyisinvesfigatedtooOnthebasisofstudyingthesinglemicrobeamallelectromechanicalcoupled

6、dynamicmodelofthedoublemicrobeamispresentedThestaticdisplacement，thevibrationmodesandthenaturalfrequencyarediscussedTheforcedvibrationoftheelectromechanicalcoupleddoublemiembeamunderharmonicexcitationisinvestigatedfl／rth

7、erConsideringtheinfluenceoftheairsqueezingfilmanewfluidelectromechanicalcoupleddynamicmodelofthesinglemicrobeamisbuiltnedisplacementresponsetheelectricalfieldresponseandthepressurefieldresponsearestudiedbyKBMmethodBeside

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