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1、燕山大學(xué)碩士學(xué)位論文微梁機(jī)電耦合動(dòng)力學(xué)姓名:賈曉麗申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):機(jī)械設(shè)計(jì)及理論指導(dǎo)教師:許立忠聞巖20070101燕山大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractDynamiccharacteristicsaffectthedesignandworkingperformanceoftheelectromechanicalcoupledmicrosystemdirectlynemicrobeamisatypicalMEMSstructu
2、reInthispaperthedynamicsofallelectromechanicalcoupledmicrobeamisinvestigatedAneleetromechanicalcoupleddynamicmodelofthesinglemicrobeamsubjectedtoelectricalfieldforceispresentednestaticdisplacementthevibrationmodefunction
3、andthenaturalfrequencyofthemicrobeamunderelectricalfieldforceareanalyzedTheforcedvibrationoftheeleetromechanicalcoupledmicrobeamunderharmonicexcitationisinvestigatedbYthemodesuperpositionmethodTheinfluenceofsystematicpar
4、ametersonresonanceisstudiedWhennonlinearityofelectricalfieldforceisconsiderednonlinearfreevibration,forcedvibrationneartonaturalfrequencyandfarfromthemarediscussedbyperturbationmethodFortheforcedvibrationneartonatllralfr
5、equencytherangefrequencypropertyanditsinfluencefactorsarestudiedTheinfluenceofsystematicparametersonforcedvibrationfarformnaturalfrequencyisinvesfigatedtooOnthebasisofstudyingthesinglemicrobeamallelectromechanicalcoupled
6、dynamicmodelofthedoublemicrobeamispresentedThestaticdisplacement,thevibrationmodesandthenaturalfrequencyarediscussedTheforcedvibrationoftheelectromechanicalcoupleddoublemiembeamunderharmonicexcitationisinvestigatedfl/rth
7、erConsideringtheinfluenceoftheairsqueezingfilmanewfluidelectromechanicalcoupleddynamicmodelofthesinglemicrobeamisbuiltnedisplacementresponsetheelectricalfieldresponseandthepressurefieldresponsearestudiedbyKBMmethodBeside
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