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文檔簡介
1、隨著光電子技術的發(fā)展，鈮酸鋰晶體在行業(yè)中的作用越來越重要，利用鈮酸鋰晶體制作超精密元器件的需求與日俱增。這類元器件不僅需要極高的精度和極低的表面粗糙度，還要求無次表面損傷。由于鈮酸鋰晶片具有如下加工特點：硬度低(莫氏5)，易出劃痕；韌性高，加工速度慢；對溫度具有敏感性，易產生微疇反轉；加工過程中易產生角度很小的尖劈碎晶，從而產生砂道。 本論文針對鈮酸鋰晶體的上述加工特點，通過大量實驗，對二氧化硅介質拋光液的配制進行了深入的研究；
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