Kapton薄膜及防護膜的原子氧侵蝕行為研究.pdf

1、聚合物 Kapton由于具有較高的比強度，優(yōu)越的熱穩(wěn)定性、絕緣性、紫外線輻射穩(wěn)定性及紅外線穿透功能，是航天飛行器常用的材料，但由于空間環(huán)境中的原子氧對這種材料造成極大的損害，大大限制了這種材料在空間環(huán)境下服役時間。
　　本文利用Al-Si合金和純Al作為靶材，通過多弧離子鍍的方法在Kapton膜上制備防護膜層。然后在原子氧(Atomic Oxygen，AO)侵蝕地面模擬設備中對Kapton薄膜以及防護膜進行原子氧侵蝕試驗。用X射線

2、衍射分析(XRD)、光電子能譜(XPS)對基體薄膜及鍍膜的物相成分、化學結構進行表征。利用劃痕試驗分析不同工藝制備的防護膜與Kapton膜的結合情況。利用Lambda-9分光光度計、掃描電鏡(SEM)等對比了鍍膜前后 Kapton膜抗原子氧侵蝕能力，得到了防護性能較為優(yōu)良的防護鍍膜。
　　結果表明：Al靶制備的防護膜成分為A1 O23以及未被氧化的Al，Al-Si合金靶制備的防護膜成分為SiO、A1 O、Al S2233.210.