計算全息對準方法的研究.pdf

1、高精度的非球面的檢測技術(shù)一直是光學(xué)制造檢測領(lǐng)域致力于研究解決的關(guān)鍵技術(shù)之一，計算全息法(CGH)檢測非球面技術(shù)可以說是這項技術(shù)的一大突破，然而計算全息圖在檢測光路中的對準問題仍然是實際檢驗中的一大難題。本文對計算全息的對準問題展開研究。 論文首先從非球面的基本概念入手，概括了非球面的基本概念和常用的檢測方法及它們各自的優(yōu)點和局限性。重點介紹了計算全息法檢測非球面的原理及測量中要了解的問題，并且對計算全息測量法中誤差源進行總結(jié)和分

2、析，說明了非球面檢測中消除誤差的重要性，從而引出了進行計算全息對準的必要性。論文對常用的計算全息對準方法進行了總結(jié)，分析了各種方法的優(yōu)點和局限性。論文還對調(diào)整量和像差關(guān)系進行了計算分析，從理論上去驗證計算全息調(diào)整量對系統(tǒng)像差的影響。論文還對計算全息系統(tǒng)進行了仿真，通過調(diào)節(jié)計算全息的位置，研究計算全息各個自由度對像差的影響，并且通過改變?nèi)肷鋸埥菍φ{(diào)整量靈敏度進行分析。最后我們利用實驗數(shù)據(jù)進一步說明了計算全息位置調(diào)整的影響，并給出了計算全息