已閱讀1頁，還剩73頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、越來越多的半導體廠商開始考慮在半導體后道生產(chǎn)中采用自動化控制，目前還沒有開發(fā)出非常成功的技術(shù)能夠滿足變化多端的后道工廠。本文提出的基于SECS/GEM的半導體生產(chǎn)計算機集成制造系統(tǒng)為后道自動化提出了一種解決方案。所有設備全部都通過使用SECS標準接口連接到單元控制器及更高級別的MES和工廠計劃信息系統(tǒng)，系統(tǒng)除了能完成通常的設備監(jiān)視和控制、數(shù)據(jù)搜集、配方管理等功能外，還實現(xiàn)了單一元件追蹤，具有Strip Map管理，缺陷管理及多芯片管理等
2、功能。半導體廠商通過實施全自動化改善了生產(chǎn)力，同時減少生產(chǎn)周期和場地占用率，并通過最小化人工操作和過程的連貫性帶來質(zhì)量和可靠性的提升。 本文的主要工作和成果如下： 1．闡述了半導體生產(chǎn)計算機集成制造系統(tǒng)構(gòu)成及現(xiàn)狀，分析了半導體制造自動化存在的問題。 2．介紹了SECS/GEM標準的框架及定義。 3．提出了使用SECS/GEM作為設備間共同的通訊標準接口構(gòu)建半導體生產(chǎn)自動化線，使設備可快速地整合在CIMS的
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- SECS-GEM半導體設備自動化系統(tǒng)設計.pdf
- 半導體生產(chǎn)過程中的計算機集成制造.pdf
- 計算機仿真及其在半導體后端制造中的應用.pdf
- 計算機視覺在半導體封裝上的應用研究.pdf
- 分解理論在半導體器件計算機模擬中的應用研究.pdf
- 半導體蝕刻計算機集成反饋控制系統(tǒng)設計與應用.pdf
- 基于SECS-GEM協(xié)議的芯片焊線機監(jiān)控系統(tǒng)的實現(xiàn).pdf
- 計算機集成制造系統(tǒng)在住宅產(chǎn)業(yè)化領(lǐng)域的應用研究.pdf
- 生產(chǎn)線控制系統(tǒng)在計算機集成電子制造業(yè)的應用.pdf
- 計算機集成制造系統(tǒng)中若干重要技術(shù)的研究.pdf
- 計算機在紡織中的應用研究
- 集成的半導體制造執(zhí)行系統(tǒng).pdf
- 計算機集成制造技術(shù)在建筑業(yè)物資管理中的應用研究.pdf
- 計算機總線技術(shù)在測控系統(tǒng)中的應用研究.pdf
- 計算機審計技術(shù)在財政系統(tǒng)中的應用研究.pdf
- 計算機模擬半導體薄膜生長的初步研究.pdf
- 計算機集成控制技術(shù)及應用研究.pdf
- 模糊控制在計算機監(jiān)控系統(tǒng)中的應用研究.pdf
- 翻譯計算機集成制造.doc
- OPC與SPC集成技術(shù)在半導體生產(chǎn)中的應用.pdf
評論
0/150
提交評論