OPC與SPC集成技術(shù)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用.pdf

1、隨著社會的進(jìn)步和企業(yè)之間競爭的不斷加劇，產(chǎn)品質(zhì)量關(guān)系著企業(yè)的成敗。SPC即統(tǒng)計過程控制(Statistical Process Control)是質(zhì)量控制的一種重要工具，其系統(tǒng)主要是指應(yīng)用統(tǒng)計分析技術(shù)對生產(chǎn)過程進(jìn)行實時監(jiān)控，科學(xué)的區(qū)分出生產(chǎn)過程中產(chǎn)品質(zhì)量的隨機(jī)波動與異常波動，從而對生產(chǎn)過程的異常趨勢提出預(yù)警，以便生產(chǎn)管理人員及時采取措施，從而達(dá)到提高和控制質(zhì)量的目的。通過在企業(yè)中實施SPC，實現(xiàn)對產(chǎn)品穩(wěn)定性的實時監(jiān)控和預(yù)測，從而達(dá)到發(fā)現(xiàn)

2、異常、及時改進(jìn)、減少制造成本、降低廢品、改善總體設(shè)備效能、提高產(chǎn)品合格率及產(chǎn)品效能等作用。對企業(yè)的質(zhì)量控制有著至關(guān)重要的作用。 但在實施SPC系統(tǒng)時數(shù)據(jù)采集無法滿足現(xiàn)代企業(yè)的需要。一方面，控制和檢測儀器繁多，SPC系統(tǒng)與它們之間，缺乏統(tǒng)一的連接標(biāo)準(zhǔn)，使得SPC系統(tǒng)往往需要供應(yīng)商為硬件設(shè)備開發(fā)專用的驅(qū)動程序，這樣一旦硬件設(shè)備升級換代，就需要對相應(yīng)的驅(qū)動程序進(jìn)行更改，增加了系統(tǒng)的維護(hù)費用。 另一方面，存在著底層數(shù)據(jù)如何與其它

3、計算機(jī)進(jìn)行信息溝通和傳遞的問題。由于生產(chǎn)測試設(shè)備是不同廠商開發(fā)的，底層數(shù)據(jù)與計算機(jī)之間缺乏有效的通信接口，因此通信規(guī)范問題成為了制約SPC系統(tǒng)的瓶頸-“信息孤島”。而OPC技術(shù)的出現(xiàn)解決了上述問題。 本文結(jié)合了飛利浦半導(dǎo)體有限公司的實際情況。首先，介紹了針對于半導(dǎo)體芯片的測試數(shù)據(jù)，如何實施SPC的過程，通過對實際情況的分析和研究確定了B/S架構(gòu)的SPC分析系統(tǒng)，并利用OWC、ASP和．ADO等關(guān)鍵技術(shù)成功的構(gòu)建出了SPC分析系統(tǒng)

4、。然后，闡述了OPC技術(shù)的規(guī)范和接口，結(jié)合實際要求，開發(fā)出了OPC客戶端系統(tǒng)。最后，通過數(shù)據(jù)庫和OPC服務(wù)器選型工作，成功地將SPC與OPC技術(shù)結(jié)合在一起。實現(xiàn)了SPC與OPC在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的集成。 文中提出的OPC技術(shù)與SPC技術(shù)的集成技術(shù)，是先進(jìn)自動化測試技術(shù)與質(zhì)量控制的完美結(jié)合，尤其是基于數(shù)據(jù)庫的SPC系統(tǒng)，它以數(shù)據(jù)庫形式記錄存儲數(shù)據(jù)，實現(xiàn)數(shù)據(jù)共享，具有良好的系統(tǒng)性。再結(jié)合OPC數(shù)據(jù)采集，實現(xiàn)“實時監(jiān)控”過程，可動態(tài)了解當(dāng)