已閱讀1頁(yè),還剩61頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、該論文對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的概念、特點(diǎn),微機(jī)械加工技術(shù)的種類、條件、步驟進(jìn)行了介紹,分析了國(guó)內(nèi)外的測(cè)量測(cè)試方法,對(duì)測(cè)量表面形貌的各種方法的優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行了比較.采用掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡對(duì)多孔硅的表面進(jìn)行了觀測(cè),經(jīng)過(guò)比較,可以看出原子力顯微鏡是用于微觀形貌分析的更為有效的工具.采用雙管顯微鏡、臺(tái)階儀、基于離焦誤差檢測(cè)原理的UBM表面輪廓儀對(duì)腐蝕深度進(jìn)行了測(cè)量,通過(guò)對(duì)它們的原理和實(shí)驗(yàn)結(jié)果的分析,可以得出結(jié)論:光探針測(cè)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 芯塊幾何尺寸、密度綜合測(cè)量方法研究.pdf
- 基于視覺(jué)測(cè)量的石英擺片幾何尺寸測(cè)量方法的研究.pdf
- 基于圖像技術(shù)的型材截面幾何尺寸測(cè)量方法研究.pdf
- 大尺寸幾何量立體視覺(jué)測(cè)量方法研究.pdf
- 工業(yè)CT圖像幾何尺寸及面積測(cè)量方法研究.pdf
- 輪對(duì)幾何尺寸自動(dòng)與動(dòng)態(tài)在線測(cè)量方法的研究.pdf
- 鋼板尺寸視覺(jué)測(cè)量方法研究.pdf
- 基于面陣CCD的平面零件幾何尺寸測(cè)量方法研究.pdf
- 連桿幾何參數(shù)綜合測(cè)量方法的研究.pdf
- 某型彈體幾何尺寸參數(shù)測(cè)量方法研究與檢測(cè)系統(tǒng)開發(fā).pdf
- 男士襯衣型號(hào)尺寸測(cè)量方法
- 深孔幾何光學(xué)測(cè)量方法的研究.pdf
- 褲子部位尺寸測(cè)量方法
- 基于亞像素定位的尺寸測(cè)量方法研究.pdf
- 基于計(jì)算機(jī)視覺(jué)的零件平面幾何尺寸測(cè)量方法的研究.pdf
- 基于機(jī)器視覺(jué)的在線尺寸測(cè)量方法研究.pdf
- 輪對(duì)幾何參數(shù)在線動(dòng)態(tài)測(cè)量方法的研究.pdf
- 人體穴位的幾何特性及測(cè)量方法研究.pdf
- 大尺寸截面配對(duì)式視覺(jué)測(cè)量方法的研究.pdf
- 小尺寸盲孔的同軸度測(cè)量方法研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論