熱處理工序?qū)Ч杼栯姵毓怆娹D(zhuǎn)換效率影響的研究.pdf

1、太陽能的利用是解決全球環(huán)境污染和能源危機最有效的途經(jīng)之一，但成本居高不下是制約太陽電池大規(guī)模應用的關(guān)鍵因素。如何進一步提高太陽電池光電轉(zhuǎn)換效率，已成為該領(lǐng)域的熱點課題。本文針對太陽電池制作過程的熱工序，分別就表面鈍化、氧碳形態(tài)對太陽電池光電轉(zhuǎn)換效率的影響進行了研究。 首先，本文采用等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）制備了氮化硅薄膜。利用橢圓偏振儀、準穩(wěn)態(tài)光電導衰減法（QSSPCD）、X 射線光電子能譜（XPS）、紅外吸收光譜

2、（IR）、反射譜等手段，對氮化硅薄膜進行了深入的研究，優(yōu)化了薄膜制備條件并采用最優(yōu)沉積條件制備了多晶硅太陽電池。通過測量紅外吸收光譜，發(fā)現(xiàn)氮化硅薄膜的氫含量與少數(shù)載流子壽命有一定的關(guān)系；通過實驗比較了PECVD 前后電池的各項性能，獲得高光電轉(zhuǎn)換效率的減反射膜沉積的最佳工藝條件。 其次，文中選取氧碳含量差異較大的大直徑單晶硅片，在太陽電池制備過程中采用不同預熱處理工藝，運用鋁背場燒結(jié)，內(nèi)外吸雜、制備絨面和減反射膜等多項技術(shù)，對襯