多變量控制圖的理論分析與實際應用.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩59頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，集成電路的集成度已達到109的量級，而失效率則已經降到10FET，從而對微電路生產的工藝質量和可靠性評價技術提出了新的要求。采用先進的質量保證和評價技術應用在我國的微電路生產方面顯得尤為緊迫。 本文針對微電路生產的實際特點，在微電路生產工藝質量控制的SPC系統(tǒng)中引入了多變量控制圖技術，解決了微電路生產中的多變量受控分析問題，實現(xiàn)了微電路制造中具有多元特性工藝的控制。針對多變量控制圖的失控因素的診斷問題

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論