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1、磁性器件的集成是推進(jìn)電子系統(tǒng)小型化的重要途徑之一,同時(shí)有效的磁集成技術(shù)可以降低磁性器件的損耗,提高電子系統(tǒng)整機(jī)效率。將薄膜制備技術(shù)、MEMS工藝技術(shù)和磁集成技術(shù)結(jié)合在一起制備集成磁件是磁性器件未來(lái)發(fā)展的必由之路。本文深入系統(tǒng)地研究了基于交錯(cuò)并聯(lián)Buck變換器的薄膜陣列式集成磁件結(jié)構(gòu)方案,并利用有限元分析軟件進(jìn)行了優(yōu)化分析,為低損耗集成磁件的設(shè)計(jì)提供了技術(shù)支持;研究了采用真空磁控濺射技術(shù)制備的FeCuNbSiB和FeCoV磁性薄膜樣品,制
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