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1、在曲面上制作衍射光學(xué)元件有很多重要的應(yīng)用。含有曲面衍射光學(xué)元件的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)化,重量更輕,體積更小,因此在航天成像系統(tǒng)、軍事領(lǐng)域、光學(xué)表面檢測(cè)、光譜分析等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。本文在國(guó)家自然科學(xué)基金(60078006)和中科院創(chuàng)新基金(2002LQ4),以及中科院應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資助和支持下,開(kāi)展了利用光刻技術(shù)在大口徑凹球面玻璃基底上制作衍射光學(xué)元件的相關(guān)工作:1.對(duì)激光直寫(xiě)光刻的曝光量分布和線寬控制進(jìn)行了相關(guān)理論分析和
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