電容式微機械加速度計檢測電路研究.pdf

1、微機械加速度計作為一種重要的慣性器件，在汽車、消費電子、慣性制導等方面有廣泛的應用前景。性能指標的提高一直是微機械加速度計領(lǐng)域的重要研究方向。其中，檢測電路的性能對加速度計整體性能起著日益重要的決定作用。 本文針對變面積電容式微機械加速度計，設計了單路載波調(diào)制型檢測電路。同時對閉環(huán)檢測電路進行了初步研究。這些研究內(nèi)容為微機械加速度計檢測電路的合理選擇和優(yōu)化設計提供了理論依據(jù)，對微機械加速度計的工程化具有一定參考意義。 論

2、文研究工作主要包括以下內(nèi)容： (1)設計了單路載波調(diào)制型檢測電路，包括載波發(fā)生器、電荷放大器、解調(diào)器、末級低通濾波器和放大器。研究了限制加速度計性能的主要因素，指出載波穩(wěn)定性、兩路電荷放大器的一致性將直接影響檢測電路的分辨率。本文給出了開環(huán)加速度計的性能，分析了各項性能影響因素。 (2)分析了單偏置——雙反饋和雙偏置——單反饋兩種反饋施加方案。分析了PID反饋校正模塊的頻率特性，為實際反饋設計提供理論指導。在此基礎(chǔ)上，初