微機械電容式加速度計的設(shè)計及制備.pdf

1、微機械電容式加速度計是一種典型的利用表面微加工（Surface Micromachining）技術(shù)設(shè)計制造的慣性器件，因其高精度、良好穩(wěn)定性以及與集成電路（IC）工藝技術(shù)良好兼容等優(yōu)點，被廣泛的應(yīng)用于軍事和民用各個領(lǐng)域，世界各國的科研機構(gòu)多年來對于采用表面微加工技術(shù)的微機械電容式加速度計設(shè)計制造進行了大量的研究，取得了豐碩的成果。我國在這一領(lǐng)域的研發(fā)力度相對滯后，因此對于微機械電容式加速度計進行深入研究顯得非常必要。
　　本文圍繞

2、著疏齒式微電容加速度計的制備，分析了微機械電容式加速度計的力學(xué)模型，討論了影響器件靈敏度的相關(guān)參數(shù)，對于器件工作時的兩種阻尼效應(yīng)（滑膜阻尼和壓膜阻尼）進行了分析，結(jié)合細梁彈性理論得到了制備工藝所采用的兩種簡單支撐梁結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)；同時，采用ANSYS軟件對三種不同結(jié)構(gòu)的加速度計進行了靜態(tài)力學(xué)和模態(tài)仿真分析，得到了不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的慣性質(zhì)量塊的位移、應(yīng)力分布和諧振模式，利用分析得到的結(jié)果，優(yōu)化了結(jié)構(gòu)參數(shù)；在以上研究基礎(chǔ)上，設(shè)計了基于表面微加工