光掩膜生產(chǎn)中數(shù)據(jù)存儲管理系統(tǒng)的設(shè)計與實(shí)現(xiàn).pdf

1、隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)的不斷進(jìn)步，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中扮演重要角色的光掩膜制作也面臨越來越多的挑戰(zhàn)。尤其進(jìn)入90nm時代以后，光掩膜數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的運(yùn)算量和數(shù)據(jù)處理規(guī)模都呈現(xiàn)出爆發(fā)式的增長，因而對數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)提出了越來越高的要求。本文旨在存儲領(lǐng)域主流技術(shù)的基礎(chǔ)上，設(shè)計并實(shí)現(xiàn)高性能、低成本、高自動化和高可用性的光掩膜海量非結(jié)構(gòu)化數(shù)據(jù)存儲管理系統(tǒng)。在目前企業(yè)級存儲領(lǐng)域，主流存儲介質(zhì)有硬盤、磁帶以及光盤，而各自對應(yīng)的存儲設(shè)備有磁盤陣列、磁帶機(jī)、磁帶庫和光

2、盤庫。另外，文章還介紹了三種主流網(wǎng)絡(luò)存儲技術(shù)：DAS、SAN和NAS。參考多種存儲技術(shù)特性，論文以實(shí)現(xiàn)四個性能要求為目標(biāo)，對光掩膜數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)進(jìn)行了總體設(shè)計。首先，分析原有光掩膜SAN存儲架構(gòu)的不足，提出了基于高性能的10Gbps NAS存儲架構(gòu)設(shè)計；其二，結(jié)合分級存儲管理(HSM)思想，提出了節(jié)約成本的分級存儲架構(gòu)設(shè)計；其三，依據(jù)信息生命周期管理理論(ILM)進(jìn)行總體功能設(shè)計，實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)管理和數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換自動化；最后，管理系統(tǒng)采用高可用性

3、集群(HAC)的服務(wù)器集群架構(gòu)設(shè)計，以滿足高可用要求。該系統(tǒng)的新穎之處在于光掩膜數(shù)據(jù)管理功能的自動化，包括歸檔、原始數(shù)據(jù)管理、備份和監(jiān)控四個模塊，論文就這四個模塊分別進(jìn)行了詳細(xì)的設(shè)計和分析。為檢驗(yàn)總體設(shè)計和關(guān)鍵模塊設(shè)計的可行性，課題對關(guān)鍵環(huán)節(jié)進(jìn)行了局部測試，包括NAS架構(gòu)性能測試和HAC管理系統(tǒng)架構(gòu)的高可用性測試及四個關(guān)鍵模塊的運(yùn)行測試。該管理系統(tǒng)已在某光掩膜生產(chǎn)單位得以實(shí)現(xiàn)，進(jìn)而充分驗(yàn)證了系統(tǒng)的可行性。拓?fù)浼軜?gòu)的部署過程中強(qiáng)調(diào)了系統(tǒng)高