MEMS電磁驅動器的理論分析與實驗研究.pdf

1、與傳統(tǒng)的微驅動器相比，微電磁驅動器具有體積小、重量輕、加工工藝穩(wěn)定以及成本低等優(yōu)點。MEMS 微電磁驅動器有著巨大的市場潛力和廣闊的應用前景。 本文研究的電磁型微驅動器主要由平面線圈、銅彈性平臺和中央硅墊片三部分組成。采用磁路定理分析了本文制作的平面線圈型電磁驅動MEMS 微驅動器，基于分段磁路的網絡方程法，針對微電磁驅動器所采用的平面線圈的結構特點，在傳統(tǒng)的集總磁動勢模型基礎上，建立了動態(tài)分布磁動勢磁路模型；并綜合考慮氣隙變化

2、對電磁力的影響，對驅動力的計算進行了修正。 采用微細加工技術制作了這種微電磁驅動器。主要采用聚酰亞胺絕緣層工藝制作了平面線圈，討論了聚酰亞胺的甩膠，熱處理及磨拋等工藝，完成了器件絕緣部分的制作。同時，本文采用微電鑄和濕法刻蝕工藝制作了銅彈性平臺，并通過在銅彈性平臺背面電鍍一層坡莫合金的方法來制成銜鐵，采用濕法刻蝕工藝制作了硅墊片，用來調整器件的工作氣隙。 利用測量顯微鏡等設備測量了微電磁驅動器的輸出特性，并根據實驗結果驗