多變量工序能力指數(shù)評價模型研究與應(yīng)用.pdf

1、隨著IC工藝設(shè)計水平的提高，目前對單個工藝參數(shù)進(jìn)行工序能力評價已不能滿足實際工藝生產(chǎn)的要求，必須考慮多個工藝參數(shù)共同對產(chǎn)品質(zhì)量整體的作用。為此目的，多變量工序能力指數(shù)的應(yīng)用被提上日程。本文首先介紹了目前國際上現(xiàn)有的基于工藝規(guī)范的多變量工序能力指數(shù)定義并對其優(yōu)缺點作了分析和研究。然后提出了基于成品率的多變量工序能力指數(shù)模型，并且根據(jù)概率乘法定理，利用以條件數(shù)學(xué)期望和方差為參數(shù)的一維正態(tài)分布近似代替原來的條件分布，從而得出計算二維標(biāo)準(zhǔn)正態(tài)分

2、布函數(shù)值的近似公式。通過數(shù)值積分結(jié)果比較表明，近似公式計算簡單，應(yīng)用方便，精度較好。從而保證了基于成品率的多變量工序能力指數(shù)模型的可行性與精確度。在對二維正態(tài)分布的點估計研究基礎(chǔ)之上，介紹了針對該分布的優(yōu)化擬合方法。其中介紹了樣本數(shù)據(jù)的二維正態(tài)性檢驗方法及多維數(shù)據(jù)經(jīng)驗分布函數(shù)的不同定義。最后，對基于主成分權(quán)重的多變量工序能力指數(shù)模型作了改進(jìn)，使之能夠更為全面的表征工藝工序能力水平。同時提出了基于因子權(quán)重的多變量工序能力指數(shù)模型。通過實例