版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶(hù)提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、隨著集成電路的工藝發(fā)展到超深亞微米階段，集成電路的復(fù)雜度越來(lái)越高，特征尺寸也變的越來(lái)越小。當(dāng)集成電路的特征尺寸接近光刻機(jī)曝光的系統(tǒng)極限，即特征尺寸接近或小于光刻光源時(shí)，硅片上制造出的版圖會(huì)出現(xiàn)明顯的畸變。我們把這種現(xiàn)象稱(chēng)為光學(xué)鄰近效應(yīng)(OPE-Optical Proximity Effect)。為了應(yīng)對(duì)光學(xué)鄰近效應(yīng)，工業(yè)界提出了分辨率增強(qiáng)技術(shù)(RET-Resolution Enhancement Technology)，減小設(shè)計(jì)版圖與制
2、造版圖之間的誤差。在光刻分辨率增強(qiáng)技術(shù)中，光學(xué)鄰近校正(OPC-Optical Proximity Correction)已成為最重要的技術(shù)。 光學(xué)鄰近校正不是一個(gè)一次就能得到精確結(jié)果的過(guò)程，它是一個(gè)不斷迭代的過(guò)程，需要多次驗(yàn)證修改。于是對(duì)已經(jīng)做過(guò)OPC的版圖(post-OPC版圖)驗(yàn)證后的修正就逐漸成為提高OPC質(zhì)量的必需步驟。傳統(tǒng)的Post-OPC版圖的修正需要對(duì)整個(gè)版圖重做OPC，這樣浪費(fèi)了前次OPC的結(jié)果，而且可能會(huì)引入
3、新的錯(cuò)誤。于是業(yè)界提出了一種局部修正的辦法——OPC平滑校正技術(shù)，充分利用前次OPC的結(jié)果，對(duì)出錯(cuò)點(diǎn)進(jìn)行局部修正，以提高效率。 本文研究的對(duì)象是原始版圖(pre-OPC版圖)和post-OPC版圖中的圖形。對(duì)版圖中最基本的單元進(jìn)行分析處理，力求得到能夠優(yōu)化OPC的算法。本文提出了一種用于post-OPC版圖修正的多邊形匹配比較的線性算法。算法通過(guò)比較pre-OPC和post-OPC的版圖，提取OPC校正時(shí)的分段信息和段偏移量，使
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論