2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩71頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、本論文主要研究了VLSI中微米特征尺寸Al互連線在電熱條件、互連線制備和隨后的熱循環(huán)過(guò)程中的應(yīng)力分布;得出了互連線應(yīng)力狀態(tài)隨電流密度、溫度、鈍化層材料、熱循環(huán)過(guò)程等的變化關(guān)系??疾炝嘶ミB線末端及通孔結(jié)構(gòu)對(duì)互連線的電遷移壽命的影響。 采用薄膜應(yīng)力測(cè)試儀測(cè)量了不同鈍化層作用下鋁膜的應(yīng)力,研究鈍化層材料對(duì)金屬膜應(yīng)力的影響,并考察了薄膜應(yīng)力隨時(shí)間的變化。 采用二維面探測(cè)器XRD,原位測(cè)量了Al互連線的殘余應(yīng)力。沉積態(tài)的0.5μm

2、-Al和1μm-Al互連線的應(yīng)力分別為244.2MPa和158.0MPa,均為拉應(yīng)力。Al互連線沿長(zhǎng)度方向應(yīng)力明顯高于寬度方向應(yīng)力,互連線表面法線方向的應(yīng)力值則最小。 采用同步輻射源XRD,原位測(cè)量了退火前后互連線中平面應(yīng)力及在不同溫度下的平面熱應(yīng)力。通過(guò)比較發(fā)現(xiàn)0.5μm-Al和1μm-Al互連線退火后熱應(yīng)力明顯下降;在室溫~300℃范圍,Al互連線表現(xiàn)為拉應(yīng)力狀態(tài)。在300~350℃之間,由49.4MPa的拉應(yīng)力轉(zhuǎn)變?yōu)?16

3、.6MPa的壓應(yīng)力。Al互連線的熱應(yīng)力隨溫度的上升基本呈線性變化。 在電遷移實(shí)驗(yàn)中,采用同步輻射源XRD測(cè)量了電遷移前后互連線的應(yīng)力分布,得出在互連線方向上從陽(yáng)極端到陰極端存在應(yīng)力梯度,且隨電流密度的增大互連線陽(yáng)極端應(yīng)力由張應(yīng)力變?yōu)閴簯?yīng)力,并驗(yàn)證了電遷移失效后的回流效應(yīng)。同時(shí)利用AFM、SEM等對(duì)互連線的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了觀察,驗(yàn)證測(cè)量結(jié)果。 通過(guò)設(shè)計(jì)不同的互連線末端及通孔結(jié)構(gòu)并進(jìn)行電遷移實(shí)驗(yàn),考察“蓄水池”面積、通孔位置、數(shù)

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論