光學(xué)內(nèi)反射法小角度精密測量技術(shù)的研究.pdf

1、液晶光學(xué)相陣列的光束偏轉(zhuǎn)特性是評價其光學(xué)特性的一項(xiàng)重要指標(biāo)，而光束偏轉(zhuǎn)角是直接評價這一特性的物理參數(shù)。由于該光束偏轉(zhuǎn)角一般比較小，大概在2～3°，要求實(shí)現(xiàn)高的分辨力和定位精度，因此迫切需要研究一套高精度的光學(xué)小角度測量技術(shù)與系統(tǒng)。本課題正是順應(yīng)這種需要而開展的。
　　光學(xué)內(nèi)反射法測量光束微小偏轉(zhuǎn)角是一種高精度的測角方法，它主要是利用光束在發(fā)生全反射時反射光中的s光和p光產(chǎn)生的相位差不同這一特點(diǎn)進(jìn)行測角的。s光與p光的相對相位差是入

2、射角的函數(shù)，當(dāng)入射角在臨界角附近變化時，相對相位差會隨著入射角高靈敏度變化。本文正是基于這一原理設(shè)計了測量光束微小偏轉(zhuǎn)角的光路系統(tǒng)，用消偏振分光棱鏡將入射光分為兩路，并在兩路分別用兩個直角棱鏡組成的斜方棱鏡來實(shí)現(xiàn)兩次全內(nèi)反射，不但提高了測量靈敏度和線性，還利用差分光路的特點(diǎn)提高了抗干擾能力。根據(jù)現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)條件，將具有相位差的s光和p光產(chǎn)生干涉，通過接收干涉光強(qiáng)來實(shí)現(xiàn)測角，并定義了一個與角位移在測量范圍內(nèi)呈近似線性關(guān)系的信號作為測量信號。采