光學內反射法小角度精密測量技術的研究.pdf

1、液晶光學相陣列的光束偏轉特性是評價其光學特性的一項重要指標，而光束偏轉角是直接評價這一特性的物理參數(shù)。由于該光束偏轉角一般比較小，大概在2～3°，要求實現(xiàn)高的分辨力和定位精度，因此迫切需要研究一套高精度的光學小角度測量技術與系統(tǒng)。本課題正是順應這種需要而開展的。
　　光學內反射法測量光束微小偏轉角是一種高精度的測角方法，它主要是利用光束在發(fā)生全反射時反射光中的s光和p光產(chǎn)生的相位差不同這一特點進行測角的。s光與p光的相對相位差是入

2、射角的函數(shù)，當入射角在臨界角附近變化時，相對相位差會隨著入射角高靈敏度變化。本文正是基于這一原理設計了測量光束微小偏轉角的光路系統(tǒng)，用消偏振分光棱鏡將入射光分為兩路，并在兩路分別用兩個直角棱鏡組成的斜方棱鏡來實現(xiàn)兩次全內反射，不但提高了測量靈敏度和線性，還利用差分光路的特點提高了抗干擾能力。根據(jù)現(xiàn)有實驗條件，將具有相位差的s光和p光產(chǎn)生干涉，通過接收干涉光強來實現(xiàn)測角，并定義了一個與角位移在測量范圍內呈近似線性關系的信號作為測量信號。采