釹鐵硼材料表面磁控濺射制備SiC薄膜的防護研究.pdf

1、用磁控濺射法在燒結釹鐵硼表面沉積了SiC薄膜和AlN/SiC薄膜，將鍍膜后的試樣在不同的溫度中進行退火處理。本實驗采用XRD、AFM、SEM、電化學工作站、超高矯頑力永磁脈沖測試儀、60Co輻照源等對試樣進行了測試，分析了退火溫度對鍍膜NdFeB試樣的結構及其磁學性能的影響，同時研究了其在酸性、中性、堿性溶液中的耐腐蝕性能。最后研究了鍍膜釹鐵硼在不同輻照強度下的性能，具體內容如下:
　　第一章闡述了釹鐵硼稀土永磁材料的發(fā)展歷史、成

2、分、結構、制備方法以及表面防護手段。綜述了本課題的背景、主要內容和創(chuàng)新點。
　　第二章介紹了磁控濺射工作機理以及薄膜的生長和制備過程，此外還介紹了XRD、AFM、SEM、電化學性能等多種測試技術。
　　第三章討論了在釹鐵硼基底上制備SiC薄膜及其退火工藝。利用XRD、AFM、SEM等對薄膜的結構和形貌進行分析，探討了不同退火溫度對鍍有SiC薄膜的釹鐵硼試樣的結構和性能影響。并研究鍍膜NdFeB在3.5％NaCl溶液中的耐腐蝕

3、，動電位極化曲線結果發(fā)現，未鍍膜NdFeB試樣的自腐蝕電流密度為1.37×10-6A·cm-2左右，而鍍膜未退火試樣的自腐蝕電流密度約為1.54×10-8A·cm-2。結果表明在快速且破壞性強的腐蝕情況下，鍍膜試樣抗腐能力比未鍍膜好。
　　第四章研究了在釹鐵硼基底上，制備AlN薄膜作為中間過渡層來提高SiC薄膜與釹鐵硼基體之間的結合力。對比在釹鐵硼基底上鍍單層SiC薄膜與雙層AlN/SiC薄膜試樣的結構、形貌，磁學性能以及耐腐蝕性

4、能。鍍有AlN/SiC和SiC薄膜的釹鐵硼在3.5％NaCl，20％和0.1 mol/L的H2SO4溶液中的耐腐蝕性能用動電位極化曲線來表征。結果表明，AlN/SiC和SiC薄膜可以顯著提高釹鐵硼的耐腐蝕性，鍍有AlN/SiC薄膜比SiC薄膜有更好的性能。
　　第五章對試樣用60Co輻照源進行γ射線輻照，輻照劑量為200KGy、2MGy。研究了不同的γ輻照強度對試樣的結構、磁學性能以及耐腐蝕性能影響。
　　第六章總結與展望。