16411.凹腔型感應(yīng)耦合等離子體源的研制及特性分析_第1頁
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1、碩士碩士學(xué)位論文學(xué)位論文凹腔型感應(yīng)耦合等離子體源的研制及特性分析RESEARCHESONTHEDEVELOPMENTACTERISTICSOFINTERNALINDUCTIVELYCOUPLEDPLASMASOURCES韓雪韓雪哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工業(yè)大學(xué)2015年6月ClassifiedIndex:TM341U.D.C:621.3DissertationftheMasterDegreeinEngineeringRESEARCHESON

2、THEDEVELOPMENTACTERISTICSOFINTERNALINDUCTIVELYCOUPLEDPLASMASOURCESCidate：HanXueSupervis：Prof.JiangbinhaoAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：ElectricalEngineeringAffiliation：SchoolofElectricalEngineeringA

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