掃描電子顯微鏡之--二次電子se背散射電子bse特征x射線樣品電流俄歇電子ebic陰極熒光ebsd等信號原理

1、掃描電子顯微鏡發(fā)展的核心任務，是追求對各種固體材料表面的高分辨形貌觀察。形貌圖像采用二次電子信號進行成像，圖像分辨率和放大倍數連續(xù)可調，大景深，立體感強是其基本特色。然而實現掃描電鏡的商品化，從掃描電鏡發(fā)明和發(fā)展歷史上看，自1935年Knoll研究二次發(fā)射現象，偶然觀察到靶材的形狀，到1965年商品化掃描電鏡的推出，經歷了30年。這期間對于掃描電鏡成像信號的認識和利用是一個不斷探索的試驗研究過程。對成像信號進行深入研究，不斷改進儀器性能

2、，最后對成像信號理論有了全面認識，改進提升了了關鍵技術，圖像分辨率有了顯著提高，掃描電鏡才得以以商品化的形式突飛猛進的發(fā)展。通過不斷對電子光學電子槍，電磁透鏡，以及信號探測及成像信號系統(tǒng)的改進，掃描電鏡的分辨率雖然已經達到了很高水平，但距離電子光波的分辨率限度，還有非常大的發(fā)展空間。2010年報道，科學家已經研制出可以用在場發(fā)射電子槍上的六硼化鑭針尖，據科學家介紹，這有望使得掃描電鏡分辨能力有一個飛躍性提高?？崛勘本┺k公室馳奔如果說對