掃描電鏡載物臺(tái)定位系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、　　本文針對(duì)掃描電鏡載物臺(tái)定位裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、操作不變的缺點(diǎn)，設(shè)計(jì)了基于少自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)的掃描電鏡載物臺(tái)定位系統(tǒng)。該系統(tǒng)有兩套方案：一為手動(dòng)定位機(jī)構(gòu)，主要由4-PUU和RUPRU隨動(dòng)分支組成，另一個(gè)為自動(dòng)定位機(jī)構(gòu)，主要由4-UPU加一電機(jī)組成。本文針對(duì)這兩種機(jī)構(gòu)進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)學(xué)和動(dòng)力學(xué)的分析，同時(shí)介紹了這兩種機(jī)構(gòu)在微操作系統(tǒng)中的應(yīng)用?！　∈紫?，論文在分析了4-PUU和4-UPU兩種少自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)模型的特點(diǎn)及其自由度的基礎(chǔ)上分析了它們的運(yùn)動(dòng)

2、學(xué)，推導(dǎo)出其位置、速度、加速度正反解公式，并進(jìn)行了數(shù)值驗(yàn)證。同時(shí)，論文分情況討論了這兩種機(jī)構(gòu)的工作空間和奇異形位，通過(guò)編程得到機(jī)構(gòu)在定姿態(tài)下的工作空間的立體圖和截面圖?！　∑浯?，論文針對(duì)4-UPU機(jī)構(gòu)建立了動(dòng)力學(xué)模型并用拉格朗日法對(duì)其進(jìn)行了動(dòng)力學(xué)的分析，通過(guò)編程得到了分支驅(qū)動(dòng)力與動(dòng)平臺(tái)位置、速度、加速度變化的關(guān)系，分析了機(jī)構(gòu)的動(dòng)力學(xué)特性?！　∽詈?，論文構(gòu)建了一個(gè)基于顯微視覺(jué)的微操作系統(tǒng)，介紹了系統(tǒng)中各部分的性能以及這兩種機(jī)構(gòu)在系統(tǒng)中