雙軸激光掃描系統(tǒng)的基本原理_第1頁
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文檔簡介

1、雙軸激光掃描系統(tǒng)的基本原理雙軸激光掃描系統(tǒng)的基本原理一束激光被兩片掃描振鏡反射,并且通過一片聚焦鏡。振鏡片在一個galvo掃描器馬達(dá)的帶動下高速的來回延軸旋轉(zhuǎn)。在大多數(shù)情況下最高偏轉(zhuǎn)角鏡是12.5(10往往是一個較安全范圍)入射角不能偏于45。在設(shè)計(jì)雙軸掃描器時,我們的目標(biāo)是:?能夠達(dá)到理想的掃描范圍.?能夠達(dá)到最高的速度.?能夠達(dá)到最小的焦斑.?使得成本能夠最低.一些要考慮到的限制因素:?光束質(zhì)量的因素Q(Q=M2).?掃描角度的限制

2、因素.?光束能量減少的因素.?掃描器通光口徑的影響因素.掃描器的掃描范圍光束的掃描范圍較超過某個角度q,等于兩倍的振鏡反射角。因此,在X和Y兩個方向上掃描的范圍可能是q=20。(最大的掃描范圍應(yīng)該是q=25)。在X和Y軸上,實(shí)際的掃描面積應(yīng)該是2Ftanq。近似值發(fā)生的原因:通常在鏡片的設(shè)計(jì)中,會考慮到它的失真現(xiàn)象。所以對于q來說掃描的位置是對稱的,而不是tanq。在雙軸上掃描時,會出現(xiàn)幾何失真的現(xiàn)象,這個是與鏡頭的屬性不相干的。馬達(dá)。

3、由于失真是來自于兩個振鏡,所以我們兩個軸上的掃描器要有能夠轉(zhuǎn)動Ftheta的特征。單片式鏡片設(shè)計(jì)得最好的折衷點(diǎn)是要同時具備最小光斑尺寸與Fθ特點(diǎn)。對于單片式的鏡頭,在Ftheta特征下,誤差通常是2%3%。多片式的鏡頭,它的設(shè)計(jì)會更加接近Ftheta的特點(diǎn)。Ftheta特征的誤差范圍是0.36%,并且只有75mmFL的微小差距。鏡頭設(shè)計(jì)所有掃描透鏡設(shè)計(jì)是基于上述因素,對于典型的小型掃描器系統(tǒng),光束直徑的范圍在10mm或是15mm鏡片的直

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