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文檔簡介
1、LEDLED燈生產(chǎn)工藝燈生產(chǎn)工藝1LEDLED制造流程概述制造流程概述LED的制作流程包括上游的單晶片襯底制作、外延晶片生長；中游的芯片、電極制作、切割和測試分選；下游的產(chǎn)品封裝。圖2.1LED制造流程圖制程：金屬蒸鍍光罩腐蝕熱處理（正負(fù)電極制作）切割測試分選成品：芯片晶片：單晶棒（砷化鎵、磷化鎵）單晶片襯底在襯底上生長外延層外延片成品：單晶片、外延片封裝：固晶焊線樹脂封裝切腳測試分選成品：LED燈珠、LED貼片和組件上游下游中游的設(shè)備
2、然后是對LEDPN結(jié)的兩個(gè)電極進(jìn)行加工，電極加工也是制作LED芯片的關(guān)鍵工序，包括清洗、蒸鍍、黃光、化學(xué)蝕刻、熔合、研磨；然后對LED毛片進(jìn)行劃片、測試和分選，就可以得到所需的LED芯片了?；澹ㄒr底）磊晶制程（擴(kuò)散、濺射、化學(xué)氣相沉淀）磊晶片清洗蒸鍍黃光作業(yè)化學(xué)蝕刻熔合研磨切割測試單晶爐、切片機(jī)、磨片機(jī)等外延爐（MOCVD）清洗機(jī)蒸鍍機(jī)、電子槍烘烤、上光阻、照相曝光、顯影刻蝕機(jī)減薄機(jī)、清洗機(jī)切割機(jī)探針測試臺、顆粒度檢測儀圖2.3LED
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