半導(dǎo)體并聯(lián)生產(chǎn)線預(yù)防性維修調(diào)度和評估系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、論文基于的研究項目來源于四川省青年基金項目(批準(zhǔn)號：09ZQ026-054)“面向迂回生產(chǎn)流程的多目標(biāo)生產(chǎn)規(guī)劃研究”。半導(dǎo)體制造企業(yè)使用了大量可以通過改變生產(chǎn)參數(shù)來加工不同產(chǎn)品的并聯(lián)柔性生產(chǎn)線，這對生產(chǎn)線預(yù)防性維修的調(diào)度和評估提出了更高的要求。準(zhǔn)確的預(yù)防性維修調(diào)度是預(yù)防性維修實施的前提，而合適的預(yù)防性維修評估方法是保證調(diào)度正常實施的基礎(chǔ)。本文以半導(dǎo)體制造企業(yè)并聯(lián)生產(chǎn)線為研究對象，進(jìn)行了預(yù)防性維修調(diào)度和評估研究，并設(shè)計和開發(fā)了預(yù)防性維修調(diào)

2、度和評估系統(tǒng)。
　　 首先，建立了半導(dǎo)體并聯(lián)生產(chǎn)線預(yù)防性維修調(diào)度模型。詳盡剖析了半導(dǎo)體并聯(lián)生產(chǎn)線的特點，解析了預(yù)防性維修調(diào)度需要考慮的各種約束因素，確立了以產(chǎn)能最大化為目標(biāo)函數(shù)并綜合考慮多產(chǎn)品產(chǎn)量要求、預(yù)防性維修時間寬放區(qū)間、維修班組數(shù)量作為約束條件的預(yù)防性維修調(diào)度模型。通過該模型在某半導(dǎo)體生產(chǎn)線預(yù)防性維修調(diào)度實例中的應(yīng)用，證明了該模型的準(zhǔn)確性和實用性。
　　 其次，建立了適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)的預(yù)防性維修的評估體系。對目

3、前維修指標(biāo)分類進(jìn)行了研究，確定以預(yù)防性維修操作時間、后續(xù)產(chǎn)品質(zhì)量、設(shè)備性能指標(biāo)作為預(yù)防性維修評估的指標(biāo)體系，鑒于目前用于維修評估的設(shè)備性能指標(biāo)會受到人為計劃安排時間的影響，另選不受人為計劃安排時間影響的指標(biāo)，然后通過對不同指標(biāo)在不同時間周期的相關(guān)性分析，最終確定了設(shè)備性能指標(biāo)的采樣周期。
　　 最后，設(shè)計并實現(xiàn)了半導(dǎo)體并聯(lián)生產(chǎn)線預(yù)防性維修調(diào)度和評估系統(tǒng)。基于前面建立模型和評估指標(biāo)體系，根據(jù)某半導(dǎo)體封裝測試廠的實際情況，設(shè)計了半導(dǎo)