等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積pevcd研究分析現(xiàn)狀

1、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積pevcd研究分析現(xiàn)狀研究分析現(xiàn)狀等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積pevcd研究分析現(xiàn)狀等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PEVCD的研究現(xiàn)狀太陽(yáng)能光電工程學(xué)院《材料加工設(shè)備概論》課程設(shè)計(jì)報(bào)告書(shū)題目：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PEVCD的研究現(xiàn)狀姓名：白文周專業(yè)：光伏材料加工與應(yīng)用技術(shù)班級(jí)：09級(jí)光伏材料助考班準(zhǔn)考證號(hào)：014410300529設(shè)計(jì)成績(jī)：指導(dǎo)教師：摘要本設(shè)計(jì)主要闡述了等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積P

2、ECVD的基本原理，什么叫PECVD以及在太陽(yáng)能電池片制作過(guò)程中的研究現(xiàn)狀關(guān)鍵詞：等離子化學(xué)氣相沉積基本原理PECVD研究現(xiàn)狀目錄緒言31等離子體概論41.1等離子體的基本概念和性質(zhì)41.2等離子體的特性參數(shù)描述51.2.1粒子密度和電離度61.2.2電子溫度和粒子溫度61.3等離子體的產(chǎn)生方法和原理72輝光放電等離子體的物理基礎(chǔ)82.1輝光放電裝置822輝光放電原理103等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)113.1等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的

3、主要過(guò)程113.2等離子體內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)123.3生長(zhǎng)表面的成膜反應(yīng)14參考文獻(xiàn)18緒言本設(shè)計(jì)概要地描述了等離子體的基本概念、性質(zhì)以及描述等離子體的主要參數(shù)；闡述了常用于薄膜制備的輝光放電方因此，等離子體是完全不同于普通氣體的一種新的物質(zhì)聚集態(tài)。應(yīng)當(dāng)指出，并非任何的電離氣體都是等離子體。眾所周知，只要絕對(duì)溫度不為零，任何氣體中總存在有少量的分子和原子電離。嚴(yán)格地說(shuō)來(lái)，只有當(dāng)帶電粒子地密度足夠大，能夠達(dá)到其建立的空間電荷足以限制其自身運(yùn)動(dòng)時(shí)

4、，帶電粒子才會(huì)對(duì)體系性質(zhì)產(chǎn)生顯著的影響，換言之，這樣密度的電離氣體才能夠轉(zhuǎn)變成等離子體。除此之外，等離子體的存在還有其特征的空間和時(shí)間限度，如果電離氣體的空間尺度L不滿足等離子體存在的空間條件LD（德拜長(zhǎng)度D為等離子體宏觀空間尺度的下限）的空間限制條件，或者電離氣體的存在的時(shí)間不滿足p（等離子體的振蕩周期p為等離子體存在的時(shí)間尺度的下限）時(shí)間限制條件，這樣的電離氣體都不能算作等離子體[2]。1.2等離子體的特性參數(shù)描述等離子體的狀態(tài)主要