mocvd系統(tǒng)的建立及鐵電材料動態(tài)熱釋電響應(yīng)的研究

1、同濟大學博士后士學位論文MOCVD系統(tǒng)的建立及鐵電材料動態(tài)熱釋電響應(yīng)的研究姓名：楊同青申請學位級別：博士后士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導教師：姚熹2001.2.1楊同青同濟大學博士后研究工作報告S E T - U PO F M o C V D S Y S T E M A N DD Y N A M I C P Y R O E L E C T R I C R E S P o N S E o FF E R R o E L E C T R I C ⅣL

2、 ⅡE R I A I ，SA B S T R A C TL o wp r e s s u r e - M O C V De q m p m e mw i t h h o t w a l l f o r t h e d e p o s i t i o n o ff e r r o e l e c t r i ct h i nf i l mw a se s t a b l i s h e d ，w h i c hc o n s i s t

3、 so f S O u r C e s —t r a n s p o r ts y s t e m ，g a s - c o n t r o l l i n g s y s t e m ，h e a t i n g s y s t e m ，r e a c t i n g s y s t e m ，d i s p o s a l s y s t e m f o re x h a u s t —g a sa n de l e c t r

4、i c ·c o n t r o l l i n gs y s t e m ．I nt h i s e q u i p m e n t ，t w or e a c t o r sw e r ei n s t a l l e dw i t ht h r e eg a s e o u ss o u r c el i n e sa n d o n e l i q u i ds o u r c el i n e ，S Ot h ep

5、e r i o do fd e p o s i t i o no f f e r r o e l e c t r i ct h i nf i l md e c r e a s e sg r e a t l y ，a n d m u l t i —e l e m e n tc o m p o n e n tf e r r o e l e c t r i cm i l lf i l lC a l lb ep r e p a r e d ．T

6、 h em e a s u r i n gs y s t e mf o rt h ed y n a m i c p y r o e l e c t r i c r e s p o n s e o ff e r r o e l e c t r i cm a t e r i a l sW a se s t a b l i s h e d ，a n ds o m ep a r a m e t e r sw e r ec o n f i r m

7、 e df o ri t ．W h e nt h et i m e —c o n s t a n to fl o c k - i na m p l i f i e ri s s e ta s2 0 0 m s ，t h ee q u a ln o i s eb a n dw i d t ho fm e a s u r i n gs y s t e mi s a b o u tI H z ．T h ed e f i n i t i o n

8、 so fs o m ec h a r a c t e r i s t i cp a r a m e t e r sd e s c r i b i n g t h e p r o p e r t i e so f p y r o e l e c t r i cd e t e c t o ra r eg i v e n ．T h ed y n a m i c p y r o e l e c m c c h a r a c t e r i

9、s t i c s o fP Z S Ta n t i f e r r o e l e c t r i cc e r a m i c su n d e rd i f f e r e n tt e m p e r a t u r e sa n da p p l i e dd c —b i a s e l e c t r i cf i e l d s w e r es t u d i e d ．T h ep h a s et r a n s

10、 i t i o nt e m p e r a t u r eT m m o b t a i n e di nd y n a m i c r e s p o n s ei sc o n s i s t 謝t 1 1t h eT F E ．A F Eo b t a i n e d i ns t a t i cr e s p o n s e ，a n d w h i c h C a n b es h i f t e d t oh i g h

11、 e r t e m p e r a t u r eb ya p p l i e de l e c t r i c f i e l d ．I ns t a t i c r e s p o n s e ，t h ei r r e v e r s i b l er e s p o n s ei s m a i np a r t a tT F E —A F E ，w h i c hi sa s t r o n gp e a ka t t r

12、i b u t e dt ot h ed e p o l a r i z a t i o nc u r r e n to f F E t OA F Ep h a s et r a n s i t i o n ，a n dt h e r e v e r s i b l er e s p o n s ei sm a i n p a r ta tr o o m t e m p e r a t u r eb e l o wT F E ．“E ，

13、w h i c hi s a t t r i b u t e d t O t h ep y r o e l e c t r i ce f f e c t ．T h er e v e r s i b l e p ”o e l e c m cc o e f f i c i e n t o fP Z S Tc e r a m i c s i s f o u rt i m e st h a n t h a t o fL i T a 0 3 c

14、r y s t a l a t r o o mt e m p e r a t u r e ．T h ep o l a r i z a t i o n - e l e c t r i c f i e l d h y s t e r e s i s l o o p sa n dd y n a m i cr e s p o n s eo fP Tf e r r o e l e c t r i c t h i n f i l m w e r e